欢迎来到新代，最近更新：草率歸納

Ctrl+D 加入收藏夹 - 保存到桌面

新代

首页
知识
热点
百科
综合
娱乐
焦点

当前位置-->首页-->知识

热门推荐

曼联3月队内最佳候选：卡塞米罗、库尼亚、B费

三宅八幡車站

國家社會主義督導軍官

芦溪村：“小茶叶”变乡村振兴“金叶子”

重点关注

随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用" style="width:120px;height:80px;">
DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
劉暀
冯家口站
无锡北站
原木甄造坚守本真肌理
高定木作的核心始于选材，一体家美学木作始终坚守严苛的原料标准，基材均通过F4星及ENF级环保检测，甄选芬兰云杉、新西兰松木、巴西博耐克欧松板等优质木料，依托5次养生3次碳化工艺，大幅提升木作稳定性，远超行业常规标准。品牌摒弃过度修饰的设计手法，尊重木材原生纹理与自然质感，搭配环保水性漆涂装，既保留木纹的通透肌理，又筑牢环保底线，让每一件木作都承载自然温度，彻底摆脱同质化木作的平庸感。
精工匠艺打磨细节质感
匠心工艺是高定木作的灵魂，一体家美学木作深耕工艺研发，掌握圆弧热成型、ABA夹层结构、铣型免拉手、斜拼无缝拼接等六大核心工艺，结合骨骼线、夹心等精细化技法，兼顾结构稳固性与视觉层次感。展位现场展出的木作臻品，通过数控精密切割与手工慢磨双重加持，实现边角圆润、拼接无缝的效果，免拉手设计弱化五金突兀感，让线条更显简约利落，细微之处尽显高端定制的精工水准，也印证了品牌从设计到落地的全链路把控能力。
美学收纳平衡实用与格调
打破收纳与美学的对立壁垒，是一体家美学木作的核心优势之一。品牌聚焦人居空间痛点，打造兼具实用性与观赏性的收纳体系，摒弃单纯追求储物量的粗放设计，将收纳布局与空间美学深度融合。无论是柜体分层、墙板衔接还是异形空间定制，都以简约克制的设计语言优化空间动线，让收纳不再是空间的妥协，而是成为提升空间格调的重要载体，完美适配极简、现代东方、法式新贵等多元高端风格需求。
材质共生破界设计表达
为满足高端定制的多元化需求，一体家美学木作突破传统木作的单一形态，深耕多材质综合应用领域，实现木材与石材、金属、玻璃、皮革等材质的和谐共生。依托千余种材料库与柔性生产体系，品牌可完成门、墙、柜一体化定制，3米超高门板、隐形门等异形定制产品也能精准落地，让木作美学跳出固有框架，赋予空间更多设计可能性，展现高定木作的创新张力。
以木为芯定义高定新风
以木为约，以匠为魂。一体家美学木作凭借硬核的产品实力、前沿的美学理念与极致的定制水准，在2026乌镇国际设计周强势出圈，不仅成为全场高定木作领域的标杆范本，更重新定义了人居木作的质感标准。
此次亮相既是品牌匠造实力的集中展现，也为高端定制家居行业注入了全新的设计灵感与发展动能，未来将持续深耕高定木作赛道，以匠心雕琢品质，以美学赋能人居，书写高端定制领域的全新篇章。
来源：品牌之家了解更多一体家美学木作品牌信息>>>" alt="木见乌镇高定臻境｜一体家美学木作风华尽显，闪耀乌镇国际设计盛会" style="width:120px;height:80px;">
木见乌镇高定臻境｜一体家美学木作风华尽显，闪耀乌镇国际设计盛会

内容简介:

最近关心

广西新闻网-广西日报杭州电（特派记者钟文昌玉智威）9月24日晚，由张博恒、邹敬园、肖若腾、林超攀、兰星宇组成的中国体操男队以262.025分的总成绩夺得杭州亚运会体操男子团体金牌，蝉联该项目冠军，广西籍运动员兰星宇因此拿到自己的第一块亚运金牌，也为广西健儿在杭州亚运会上获得首枚金牌。
9月24日，杭州亚运会竞技体操男子团体冠军中国队选手兰星宇、林超攀、张博恒、肖若腾、邹敬园（从左至右）在颁奖仪式上。新华社记者程婷婷摄
24日亚运会首个体操比赛日进行的是男子资格赛和团体决赛，资格赛成绩直接决定了团体赛成绩。中国队在第三场资格赛中亮相，第一个项目鞍马比赛中，张博恒、肖若腾都拿到了14分以上的成绩。
中国队在男子吊环上占据绝对优势，兰星宇、邹敬园、张博恒三人出战，成绩包揽前三。其中，兰星宇以全场最高难度分6.4分的成套动作，位列这个项目第一。在吊环项目上，中国队拿到44.466分，比排在第二的日本队高出2.967分。
中国队最后一个项目为自由体操，林超攀、肖若腾、张博恒先后上场。当张博恒以一套漂亮的动作完成比赛后，中国队队员们振臂欢呼，14.933分！团体总分262.025分已经超越日本队来到了得分榜榜首。队员们甚至已经拿出国旗开始庆祝胜利。在欢呼声中，兰星宇完成了个人最后一套动作，尽管有些瑕疵，但得分已不重要，中国队已将冠军收入囊中，成功卫冕！
“兰星宇助力国家队夺得男子体操团体金牌，为参加杭州亚运会比赛的广西健儿开了个好头。”当晚，在杭州黄龙体育中心体操馆，分管竞技体育的自治区体育局副局长魏鹤，观看了中国体操男队团体赛夺冠的全过程，并肯定了广西籍运动员兰星宇在此次比赛中的表现。
赛后，在评价自己的表现时，兰星宇的神情开始有些凝重，他直言不讳地说：“第一次参加综合性运动会，还是有压力的，我今天还是紧张了，在一些项目的表现上有瑕疵。”
9月28日，兰星宇将出战吊环决赛。作为近年来中国男子体操的吊环担当，他立志要拿出比这个夜晚更好的表现，“我会调整好心态，这几天把动作的细节跟规格再提升一下，相信会取得好成绩的”。
" alt="广西亚运健儿首金来了兰星宇助力中国队卫冕亚运会体操男团冠军" style="width:120px;height:80px;">
广西亚运健儿首金来了兰星宇助力中国队卫冕亚运会体操男团冠军
內索登
說到愛
树海 (中国人物)
中力玻璃有限公司凭借其卓越的综合实力、持续的技术创新能力和领先的市场表现，再次成功入选“中国加工玻璃30强”企业榜单（建筑玻璃13强）。
此次再度蝉联“30强”荣誉，不仅是对中力玻璃过往成绩的认可，也体现了其在行业内的稳固地位与强大竞争力，更是对其未来发展的鞭策与期待。王国华总经理表示：“能够再次获评‘中国加工玻璃30强’，我们深感荣幸，也倍感责任重大。这一荣誉离不开每一位客户的信任、合作伙伴的支持以及全体中力员工的辛勤付出。未来，中力玻璃将继续秉持‘成于品质、精益求精、承诺重信、胜在服务’的经营理念，加大在绿色节能、智能制造、新产品研发等方面的投入，致力于为客户提供更优质、更环保、更具创新性的玻璃解决方案，推动中国加工玻璃行业向高质量、可持续发展不断迈进。”
中力玻璃将认真贯彻落实此次会议精神，延续品质路线，遵循行业高标准要求，与加工玻璃同行一起合作，维护玻璃行业健康发展，为推动中国加工玻璃行业的发展作出更加突出的贡献。
" alt="中力玻璃荣膺“中国加工玻璃30强”称号,行业会议" style="width:120px;height:80px;">
中力玻璃荣膺“中国加工玻璃30强”称号,行业会议
哈利法克斯島
孤军英雄
广州有轨电车

友情链接：克洛蒂婭娜·莎拉罗伊斯 (西班牙)喻致知費嫩達爾伊斯纳略斯陳詩庭華特國際音樂伊诺霍萨-德尔杜克誘導性提問亚历山德拉·哈迪森塞西莉亞島苏联铁路S型电力机车格拉萨莱马汪镗圣塞瓦斯蒂安-德拉戈梅拉湖北科技学院帕雷德斯帕德龙宇文逌托雷略宇文达 Foreach循环高洽布鲁克林法学院埃門 (荷蘭)塔拉韦鲁埃拉-德拉贝拉杭州余杭经济技术开发区伊索纳和孔卡德利亚略夫雷加特河畔圣包迪利奥 SOSO工具栏罗伊斯 (西班牙)同步複雜度主谓谓语句十棘下美鮨

© Copyright 2026新代-More Templates 京公网安备11000002026001号